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流量顯示儀，支持多種通訊協(xié)議，氣體種類覆蓋面廣、控制及測(cè)量精度高 、響應(yīng)速度快、性能穩(wěn)定 。

MFM330 氣體質(zhì)量流量計(jì)結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

MFC330-05S 氣體質(zhì)量流量控制器結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

MFC330-05E 氣體質(zhì)量流量控制器結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

MFC300-03D 氣體質(zhì)量流量控制器采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。

MFC300-03A 氣體質(zhì)量流量控制器采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。