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流量計
氣體質(zhì)量流量計
MFC350國產(chǎn)替代熱式氣體流量計





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在氣體流量控制領(lǐng)域,愛拓利展示了其從MFC300、MFC330到MFC600等多個系列的氣體質(zhì)量流量計產(chǎn)品。
以專為微小流量場景設(shè)計的MFC300系列為例,它采用MEMS流量傳感器,并自帶溫度和壓力補償功能。其測量準確度可達±0.5%F.S.,而傳感器響應時間僅為5毫秒。
愛拓利流量計的核心優(yōu)勢在于其高精度與高穩(wěn)定性。以MFC600系列為例,準確度可達±0.2%F.S.,線性度為±0.1%F.S.,重復精度更是達到±0.05%F.S.。
這種高精度特性在動態(tài)氣體配氣過程中至關(guān)重要,可以確保各組分流量的精確控制,從而保證最終混合氣體濃度的準確性。
愛拓利專注于微小氣體領(lǐng)域精準測控,產(chǎn)品廣泛應用在半導體,光伏,光纖,F(xiàn)PD,真空鍍膜,新能源電池,分析儀器,生物制藥,制配氣、化工、食品、工業(yè)自動化等領(lǐng)域
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